全球ATE设备发展简史

 

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　　自动化测试设备（ATE，Automatic Test Equipment）是一种通过计算机控制进行器件、电路板和子系统等测试的设备。通过计算机编程取代人工劳动，自动化的完成测试序列。自动化测试设备（ATE）已是全球半导体设备产业之中的重要组成部分。

　　自动化测试设备（ATE）的应用场合涵盖集成电路整个产业链，最重要的包含了芯片的设计验证、晶圆制造相关的测试到封装完成后的最终成品测试。

　　自动化测试设备（ATE）从1960年代发展至今，已形成泰瑞达（Teradyne）与爱德万测试（Advantest）的双寡头格局，占有全球近90%以上的市场。在SOC检测系统与存储器检测系统方面，泰瑞达与爱德万各有优势。

　　但是在模拟检测系统方面，中国厂商华峰测控（AccoTest）经过多年研发和布局，已经取得了不俗的市场占有率，产品不仅在国内大批量安装，而且已确定进入美国、欧洲、日本市场，获得多家顶级IDM公司内采购。

　　广立微（Semitronix）十年磨一剑，研制出快速电学参数测试机Semitronix Tester，为客户提供准确且高度自动化的测试解决方案用于快速和更好地监控工艺。

　　但是早期的半导体测试设备发展并不完全是由这些独立的设备商引导，而是由半导体制造公司主导的。仙童半导体（Fairchild ）、德州仪器（TI）等制造公司制作ATE用于内部使用。据悉在20世纪70年代末，仙童半导体（Fairchild ）掌握全世界70%的ATE市场。

　　1960年，泰瑞达（Teradyne）在Joe & Nemo热狗店上方的阁楼成立，1966年推出配备小型计算机的集成电路测试仪J259，可以说J259标志着半导体行业中自动测试设备（ATE）时代的开始。

　　1965年，仙童半导体（Fairchild）自动化测试部门成立，推出5000C（模拟器件测试）和Sentry 200（数字电路测试），5000C和Sentry 200都由自主开发的24位，10MHz计算机FST2进行控制。

　　1976年，通用电气（General Electric）电子测试设备的研究员和设计师Luciano Bonaria在意大利都灵创办了SPEA，用于电子和自动化系统测试。

　　1981年，泰瑞达（Teradyne）发布第一款超大规模集成电路不停机检测系统J941；1982年J941赢得英特尔公司100万美元的合同，英特尔对泰瑞达和J941投下了信任票。

　　1987年，INNOTECH成立，后由贸易公司转型，现在开始提供NAND和CMOS图像传感器测试机台 。

　　1991年，科利登（Credence）收购泰克（Tektronix）的半导体检测系统部门，科利登籍此进入高端检测系统市场。

　　1991年，TMT, Inc.成立，专注RF /无线、混合信号和线性半导体器件领域，推出ASL系列RF检测系统。

　　1992年，爱德万测试（Advantest）通过当时业界最高分辨率的LCD驱动器检测系统G4350（用于研发）和G4310（用于批量生产），得以进入LCD测试市场。

　　1993年，北京华峰测控技术有限公司成立，专注于半导体元器件测试筛选设备和专用智能化检测系统的研制。

　　1995年，SPEA进入了处理器测试领域，首个订单来自Swatch集团，用于测试手表芯片。

　　1996年，泰瑞达（Teradyne）推出Marlin存储测试系统，这是第一个能够一起进行DRAM测试和冗余分析的系统。

　　1997年，泰瑞达（Teradyne）推出了第一个具有实时转换能力的结构到功能检测系统J973。

　　1997年，科利登（Credence）收购Zycad的TDX系列故障和测试产品线年，泰瑞达（Teradyne）推出了首款片上系统（SOC）检测系统Catalyst。

　　1998年，泰瑞达（Teradyne）推出了一种用于低成本设备大批量测试的测试解决方案Integra J750，J750现在还大量使用。

　　1999年，安捷伦（Agilent）从惠普（HP）分拆出来，同年推出V93000平台，平台功能强大，可测试用在所有终端产品（从数字电视到无线通信设施）的片上系统（SOC）和系统级封装（SiP）器件。

　　2000年，泰瑞达（Teradyne）推出新一代图像传感器检测系统IP-750；科利登收购TMT, Inc.，获得ASL系列RF检测系统。

　　2003年，科利登（Credence）在中国上海市设立办公室，这是进入该国市场的一项关键战略。

　　2003年，恩浦科技（NPTest）和北京微电子技术研究所联合宣布建立高端CPU/SOC测试战略合作伙伴关系，EXA3000超大规模集成电路检测系统首次进入中国。

　　2004年5月28，科利登（Credence）完成收购恩浦科技（NPTest），进入高端SOC测试领域。

　　2004年，泰瑞达（Teradyne）推出了FLEX系列检测系统，为大批量，高混合，复杂的SOC器件提供测试灵活性。

　　2005年3月北京华峰测控技术有限公司推出第一台半导体IC量产设备，并接获第一台设备订单。

　　2005年6月，惠瑞捷（Verigy）成立，原安捷伦半导体测试（STS）事业群分拆，包括系统单芯片（SOC）和系统级封装（SIP）以及内存测试等业务。

　　2005年，横河（Yokogawa）推出了具有最新概念的存储器检测系统MT6121，可以在机台的两个测试头上在不同的周期同时测试不同的存储器件产品，体现了两个不同的测试台共存于一个检测系统( TWO in ONE)的理念。

　　2007年，SPEA推出全球第一台用于处理和测试惯性MEMS微传感器的测试设备。

　　2008年11月，泰瑞达（Teradyne）完成对Eagle Test Systems收购，此举在让泰瑞达将业务扩展到闪存测试市场；收购Nextest，加强公司模拟测试业务。

　　2008年3月，AccoTEST作为北京华峰测控技术有限公司的事业部成立，AccoTEST做为半导体IC量产测试的品牌正式亮相。

　　2008年8月，华峰测控（AccoTEST）正式推出STS8200模拟及混合信号检测系统平台。

　　2010年7月，惠瑞捷（Verigy）在韩国安装并验证其全球首款面向GDDR5超快存储芯片快速高良率测试系统V93000 HSM6800系统。

　　2011年，爱德万测试（Advantest）收购惠瑞捷（Verigy），使得其在SOC测试市场占有率得以迅速发展。

　　2012年1月，华峰测控（AccoTEST）推出基于全浮动资源的STS8200模拟及混合信号测试系统。

　　2015年7月，华峰测控（AccoTEST）量产测试设备销售突破1000台。

　　2015年，SPEA推出MEMS测试设备H3580，可以针对不一样的MEMS产品做测试，包括惯性传感器、湿度传感器、压力传感器、紫外线传感器、接近传感器、MEMS麦克风、磁传感器、组合传感器和其他IC器件。

　　2018年，清测电子设立武汉精鸿、上海精测半导体，布局半导体ATE设备。

　　2018年5月，Cohu公告与Xcerra达成最终合并协议，Cohu将以现金和股票相结合的方式收购Xcerra，交易对价合计约7.96亿美元。

　　2018年8月，华峰测控（AccoTEST）测试机总销售台数突破2000台。

　　2018年12月，爱德万测试（Advantest）收购Astronics Corporation的商用半导体系统级测试事业部，此事业部为半导体产品及模组提供系统级测试。

　　2019年1月，泰瑞达（Teradyne）收购大功率半导体测试设备供应商Lemsys。

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