日本半导体清理洗涤设施SCREEN HD全景图其主工厂陆续新建大楼

  SCREEN Holdings 该公司的目标是到2033年3月结束的财政年度销售额超过1万亿日元，是目前水平的两倍，彦根工厂是半导体制造设备业务的母工厂，约占半导体制造设备业务的80%。销售，将发挥及其重要的作用。该公司正在接着来进行资本投资，以应对逐步扩大的半导体需求，并推动自动化以提高产能。

  SCREENHD的彦根工厂生产可处理直径300毫米晶圆的单晶圆清理洗涤设施。目前，有5座半导体制造设备“S-Cube”生产大楼，其中S-Cube 4于2023年1月开始运营，S-Cube 5于2024年1月开始运营。随着这两座新大楼的建设，子公司 SCREEN Semiconductor Solutions（京都市上京区）集团的产能已扩大至每年 5000 亿日元，按销售额计算，较 2022 年增长 40%。

  S-Cube 5使用自动导引车 (AGV) 来分发零件。 AGV 通过从附着在地板上的二维码确定位置信息来运行。二维码的布局可以很容易地改变，AGV也是一种非固定类型的设备。 SCREEN Semiconductor Solutions 生产总经理 Keisuke Kimoto 解释了半导体行业面临的困难：“我们不知道 10 到 20 年后主流清洁设备会是什么。”由于半导体需求波动较大，技术创新迅速，新大楼被设计为灵活的生产基地。

  对于S-Cube 3、4和5，在三栋建筑中建造了一系列清洁设备生产线。通过集中生产畅销设备，公司可提升生产率并确保高利润率。目前，生产以单晶圆清理洗涤设施“SU-3200”为中心。对于电路线宽为一位数纳米（纳米是十亿分之一）的半导体，设备内部的微小灰尘也会成为问题，因此我们正在研究各种技术。为了支持客户生产尖端半导体，SCREENHD 在生产的全部过程中采用独特的方法保持其零件和单元的高水平清洁度。

  随着新生产大楼的陆续建设，彦根工厂的扩张空间开始达到极限。然而，即使在这种情况下，对半导体清理洗涤设施的需求仍在持续增长，而提高产能仍然是一个问题。 “首先，我们应该有效地利用时间，而不是荒度时间，”木本主任说。

  为了更有效地利用生产时间，我们开始考虑自动化设备组装和功能测试。由于设备规格因客户而异，我们正在尝试实现通用零件和功能的组装和检查自动化。

  第八届国际碳材料大会暨产业展览会（Carbontech 2024），将于12月5-7日在上海新国际展览中心召开。

  针对新型半导体（金刚石、氧化镓、氮化镓、碳化硅、AlN……）以及超精密加工（材料、工艺、设备）设置宽禁带半导体及超精密加工论坛、金刚石前沿论坛两大论坛。展会针对金刚石及其功能化应用主题、半导体超精密加工设置10000㎡专题展区，将展示最新金刚石晶圆、量子钻石、热沉金刚石等功能化产品及相关器件，欢迎莅临现场交流、合作。

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